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    沉積用等離子體

    • 沉積用等離子體
    沉積用等離子體

    沉積用等離子體

    • 沉積
    • 等離子體
    • 產品描述:plasma deposition

    沉積用等離子體

    大氣壓等離子體納米涂布及沉積
    無需真空環境,在大氣壓下進行涂布、沉積。


    特點
    1. 在大氣壓下,達到真空等離子體的品質。
    – In-line process
    – 涂布速度快(~ 100mm/s)
    – 高均勻涂膜
    – 涂膜厚度可調
    應用范圍
    1. 研究/開發/生產試產品
    – NANO / micro imprint lithography
    – Ink Jet printing ( LCD, OLED, LED, Solar cell )
    – MEMS
    – Optic device
    – Fuel cell / solar cell
    – TFT
    – Bio MEMS

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