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    SPIN-1200T勻膠

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    SPIN-1200T勻膠 SPIN-1200T勻膠

    SPIN-1200T勻膠

    勻膠機
    勻膠機有很多種稱謂,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機,總的來說,他們原理都是一樣的,既在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。
    勻膠機適用于半導體、硅片、晶片、基片、導電玻璃及制版等表面涂覆工藝, 可在工礦企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。勻膠機可以用于制作低于10nm厚度的薄膜,并且在清洗和刻蝕中也被廣泛使用。

    由我司提供的勻膠機,在高校、研究所及半導體產業享有很高的聲譽,相信能滿足您多種不同應用要求。


    產地:韓國MIDAS公司,
    型號:SPIN-1200T
    廠家鏈接:http://www.midas-china.com.cn/

    SPIN-1200T

    觸摸面板控制,各種涂層溶液的緊湊單元,可編程配方管理,操作簡單

    ?勻膠機

    ?基板尺寸:小于等于4英寸

    ?轉速:300~7000 rpm(空載時),誤差小于3%(海外10000 rpm)

    ?菜單程序:50步,50個配方

    ?卡盤材料:改性鋁、縮醛

    ?碗尺寸:8英寸

    ?碗材料:聚丙烯

    ?尺寸(mm)230(寬)*340(深)*260(高)


    應用范圍:
    可用于光刻膠(PR),聚酰亞胺(Polyimide),金屬有機物(Metallo-organics),攙雜劑(Dopant),硅薄膜(Silica Film),以及大多數的有機溶液、水溶液;

    全自動的勻膠及顯影工藝必需的全自動Chip生產設備:
    上一個:MINILAB 下一個:NANO IMPRINT
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