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    MINILAB

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    小型實驗室配有旋涂機、熱板、去離子水系統和工藝槽。該設備能有效地對大學和研究中心的4英寸樣品進行光刻。

    ?組成:旋涂機(Spin-1200T)、熱板、D.I水系統

    ?排水管

    ?排水槽

    ?排氣

    ?氮氣槍

    ?D.I水槍

    ?尺寸:1300(寬)*750(深)*1800(高)


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