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    MDA-400M-6

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    MDA-400M-6

    MDA-400M-6

    MDA-400M-6光刻機
    光刻機又名:掩模對準曝光機,曝光系統,光刻系統,光刻機,紫外曝光機等;
    MIDAS為全球領先的半導體設備供應商,多年來致力于掩模對準光刻機和勻膠機研發與生產,并且廣泛應用于半導體、微電子、生物器件和納米科技領域;該公司是目前世界上最早將光刻機商品化的公司之一,擁有雄厚的技術研發力量和設備生產能力;并且其設備被眾多著名企業、研發中心、研究所和高校所采用;以優秀的技術、精湛的工藝和良好的服務,贏得了用戶的青睞。

    產地:韓國MIDAS公司,唯一能做到圖形化藍寶石襯底(PSS)光刻機,高性價比
    型號:MDA-400M-6光刻機
    廠家鏈接:http://www.midas-china.com.cn/

    MDA-400M-6

    易于操作和安裝,處理各種尺寸的基板,PLC操作,PC控制

    ?手動操作

    ?掩模版尺寸高達7英寸

    ?基板尺寸為6英寸圓形

    ?均勻光束尺寸6.25*6.25英寸

    ?光源:紫外線燈,350 W

    ?光束波長350~450 nm

    ?光束均勻性<±3%

    ?365 nm強度~25 mW/?

    ?手動對準

    ?對準精度1 um

    ?操作模式:軟、硬、真空接觸和接近

    ?工藝分辨率1 um@1 um PR厚度,真空接觸

    ?重量(kg)150

    ?尺寸(mm)1080(寬)*1060(深)*1580(高)



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